다중 구역 튜브 용광로

다중 구역 튜브 용광로

이 고급 멀티존 튜브 퍼니스는 독립적으로 제어 가능한 가열 구역이 2개, 3개 또는 5개인 구성으로 제공됩니다. 진공 또는 제어 대기 환경에서 고정밀 열 처리를 위해 설계된 이 제품은 탄소 나노튜브 및 실리콘 나노와이어 합성을 위한 재료 사전 소성, 소결, 코팅, 고온 열분해 및 화학 기상 증착(CVD) 공정과 같은 애플리케이션에서 탁월한 성능을 발휘합니다.

주요 기능

  • 최대 온도:
    • 1200°C(FeCrAl 열선)
    • 1400°C(SiC 발열체)
    • 1600°C(MoSi₂ 발열체)
  • 구성 가능한 난방 구역: 최대 5개의 독립적으로 제어되는 구역
  • 정밀 제어: 온도 정확도 ±1°C의 50-세그먼트 프로그래밍 가능 PID 자동 제어 시스템
  • 안전 설계:
    • 이중 쉘 공랭식 구조(표면 온도 <50°C)
    • 자동 전원 차단 기능으로 과열 보호
    • 누전 안전 셧다운
  • 진공 성능:
    • 기본 진공 수준 -0.1MPa
    • 옵션 분자 펌프 시스템으로 7×10-⁴ Pa의 최종 진공 달성
  • 건설:
    • 304 스테인리스 스틸 이중 씰 플랜지 시스템
    • 용광로 튜브 수명 연장을 위한 조정 가능한 엔드 플랜지 지지대
  • 운영 매개변수:
    • 가열 속도 ≤20°C/min
    • 진공/불활성 가스 환경과 호환 가능

표준 구성

  • 고순도 석영 용광로 튜브(1개)
  • 진공 밀봉 플랜지 어셈블리(1세트)
  • 진공 압력 게이지(1개)
  • 튜브 플러그(2개)
  • 로터리 베인 진공 펌프(1세트)

선택적 업그레이드

  • 향상된 진공 시스템(확산 펌프, 터보 분자 펌프)
  • 정밀 가스 제어(플로트 유량계, 질량 유량 컨트롤러)
  • 퀵 릴리스 플랜지 및 T-정션 플랜지
  • 7인치 HD 터치스크린 인터페이스

애플리케이션
학술 연구 및 산업 생산에 이상적입니다:

  • 고급 세라믹 소재
  • 나노 소재 합성(CNT, 나노 와이어)
  • 반도체 공정
  • 촉매 개발
  • 기능성 코팅 증착

이 퍼니스는 모듈식 설계와 강력한 안전 기능을 결합하여 까다로운 재료 과학 애플리케이션에 탁월한 온도 균일성과 공정 유연성을 제공합니다.

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